Technische Daten zu unseren Leistungen ENTECH arbeitet mit 2 Dickschicht- und 1 Dünnfilm Laserabgleich Systemen. Alle Geräte sind mit Step and Repeat Handler ausgerüstet. Für spezielle Anwendungen setzten wir entsprechende Optionen ein: Milli-Ohm Option, Giga-Ohm Option, Ultra-Thin Film Optik u.a. Hier einige relevante Parameter unserer Laserabgleich Systeme: Substratgröße: Standard 4" x 4" erweiterbar bis 6" x 6". Größere Abmessungen auf Anfrage. Positioniergenauigkeit Laserstrahl: +/- 2.5µm. Positioniergenauigkeit Handler: +/- 6.35µm. Laser Schnitt Breite (materialabhängig): Dickschicht 25µm bis 50µm (Standard), Dünnfilm 10µm bis 20µm (Standard). Scanner Matrix 48 Full Kelvin Messpunkte. Erweiterbar auf Anfrage. Messgenauigkeit im mittleren Ohm- Bereich : Dickschicht +/- 0.035%, Dünnfilm +/- 0.02%. Abgleichbereiche (full Scale, systemabhängig): 40 mΩ bis 100 GΩ. IEEE und RS232c Interfacing für Funktions- Abgleich. Einige von oben angegebenen Daten stellen mittlere Werte dar, die applikations- und systemabhängig sind und für jede einzelne Anwendung präzisiert werden.